商品:
1.齊藤精機的高性能半導體製造裝置(磨圓機和裁斷機)的機械臂可以加工超過600kg的大型工件。
2. 裁斷機可以進行mm單位的裁斷。在齊藤精機的内部測試,加工精度達到了0.05mm和0.01mm。
3. 除了可以加工普通的矽晶棒,還可以加工化合物、鉭酸鋰(LT)、鈮酸鋰(LN)以及碳化矽(SiC)等新材料,對應範圍廣汎。
安全:
作爲安全措施,針對加工工件和製造裝置的每個零件之間的距離進行精確管理,當有因操作錯誤而造成加工工件位置偏離等異常發生時,會檢測到危險並馬上發出警報。
方便:
從加工工件裝機到加工完畢,整個過程全自動完成,無需人工。
水量、加工工件的處理厚度、空氣壓等的具體參數設置,客戶可以根據需要在觸摸板上完成,操作簡單。